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产品描述
德国wika超高纯压力传感器HS型HYDRA-Sensors
应用
半导体工业
UHP液体化学品输配系统
功能特性
获得的双膜片设计
接液部件材质为氟烷氧基 (PFA)
即使在安装后也可实现360°旋转
防护等级高达IP 65或IP 67
可选:附着式指示器,参见数据资料PE 82.11
描述
HYDRA-line
型号HYDRA-Sensors
超高纯压力传感器
型号HS
双重安全
系列产品 HYDRA-line系列压力测量仪表是我们和半导体
企业(威卡客户)联合开发而成。所有该系列产品都满足过
程设备和UHP化学品输配系统的特殊应用要求。
HYDRA-Sensor压力传感器具有高精度、高可靠性、超洁净
的接液部件和表面。此外,所有接液部件的生产、清洁组件
的装配、校验和包装均是在100级无尘室中完成的。
获得的HYDRA双膜片系统可以安全可靠地将压力传感器
与工作介质隔离开。此外,该型号产品还会将HF或HCI蒸汽
等扩散介质排到外部环境中,从而可防止造成错误的测量结
果或破坏传感器元件。
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